ВВЕДЕНИЕ
В соответствии с требованиями современной технологии вакуумметры призваны измерять чрезвычайно широкую область давлений- от атмосферного (I05 Па) до 10-11 Па (10-13 мм рт.ст.}, причем эти давления могут создаваться газами с различными физико- химическими свойствами.
Помимо визуального контроля давления сигналы вакуумметров часто используют для регистрации, блокировок и автоматического управления технологическими процессами.
Широкий диапазон измеряемых давлений и разнообразие эксплуатационных требований определяют необходимость разработки и выпуска значительного количества типов вакуумметров.
На рис. I приведены диапазоны измеряемых давлений и основные характеристики отечественных вакуумметров.
Все выпускаемые вакуумметры состоят из преобразователя давления, в котором сигнал давления трансформируется в электрический сигнал, и измерительной установки, содержащей блоки электрического питания, измерения к сигнализации.
Показания всех перечисленных вакуумметров, кроме деформационных, зависят от рода газа; приведенные данные относятся к азоту или сухому воздуху, и при работе с иными газами следует использовать указанные в справочной литературе переводные коэффициенты либо проводить специальную калибровку.
Герметичное соединение преобразователей давления с технологическими камерами вакуумных установок осуществляется с помощью нормализованных присоединительных элементов; их габаритно- пристыковочные чертежи приведены на рис. 2,3 и 4. Непрогреваемые преобразователи присоединяются с помощью штуцерного соединения с уплотняющим кольцом из вакуумной резины, прогреваемые - при помощи фланцевых соединений Ду-20 или Ду-50 с медной прокладкой и канавочно-клиновой системой уплотнения. Преобразователи с таким уплотнением всегда монтируются на фланце, имеющем зуб. Эти уплотнения допускают прогрев до + 400°С.
Вакуумметры, предназначенные для АСУТП, имеют выход электрического аналогового сигнала 0-10В. Блокировочные вакуумметры обеспечивают коммутацию сигнальных цепей при разрывной мощности не более 50 Вт для цепей постоянного тока с индуктивной нагрузкой до 2Г и 500 Вт для цепей переменного тока 220 В, 50 Гц.
Питание всех включенных в справочные материалы вакуумметров осуществляется от сети переменного напряжения 220 В, 50 Гц.
Рабочий диапазон вакуумметра обычно охватывает не менее 3-х порядков величины давлений, причем многие вакуумметры имеют нелинейную градуировочную зависимость, поэтому погрешность вакуумметров трудно оценивать классом точности. Многие зарубежные фирмы указывают погрешность в процентах от верхнего предела измеряемого давления либо в процентах от измеряемого давления при индивидуальной калибровке вакуумметра. В справочных материалах погрешность измерений указана в процентах от измеряемого давления при пользовании средними (типовыми) данными калибровки, нанесенными на шкалу прибора, либо типовой градуировочной зависимостью, приложенной к вакуумметру.
Для тех случаев, когда преобразователи и вакуумметры выпускаются разными производителями, причем преобразователи одного типа могут входить в комплект вакуумметров нескольких типов, в справочных материалах приводятся сначала описания преобразователей, а затем - вакуумметров, в комплект которых эти преобразователи входят.
Рис. I. Диапазон давлений, измеряемых вакуумметрами
Примечание: пунктиром указаны пределы индицирования ( без нормированной погрешности )
